產(chǎn)品參數(shù)：
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電源系統(tǒng) |
功率 |
F13.56MHz 0-600W （射頻電源） |
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真空系統(tǒng) |
真空管路 |
全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管 |
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材質(zhì) |
鋁合金 |
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密封性 |
一體成型 |
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腔體體積 |
6L |
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適用產(chǎn)品尺寸 |
180-280mmX25-90mm(長(zhǎng)x寬) |
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適用料盒尺寸 |
180-290mmX25*93X250mm(長(zhǎng)X寬X高) |
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通道數(shù)量 |
標(biāo)準(zhǔn)4條（可定制） |
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電極板大小 |
340x500mm |
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等離子激發(fā)時(shí)間 |
等離子激發(fā)清洗時(shí)間 |
5Sec |
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產(chǎn)量 |
UPH |
480（蛇皮時(shí)間10S，4條流道時(shí)） |
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清洗能力 |
水滴角 |
水滴角測(cè)試＜12° |
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流量范圍 |
0-300SCCM |
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工藝氣體 |
標(biāo)配2路，可定制 氬氣： 3bars 1L/min 氮?dú)?: 3bars 1L/min |
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其它參數(shù) |
電源 |
AC 380V 5.5KW |
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外形尺寸 |
1600mmX1200x1600 |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、軌道寬度可調(diào)，可選擇同時(shí)清洗四種不同寬度的產(chǎn)品；
2 、片式清洗，清洗效果更明顯；
3 、單邊上下料結(jié)構(gòu)，無需更換料盒，清洗后的產(chǎn)品自動(dòng)回到原來的料盒，杜絕混批；
4、 雙清洗托盤，一個(gè)清洗的同時(shí)另一個(gè)備料，提高生產(chǎn)效率；
5 、一鍵更換產(chǎn)品，設(shè)備所有參數(shù)及設(shè)置自動(dòng)加載，無需人工設(shè)定；
6、手動(dòng)清洗與自動(dòng)清洗均一鍵操作，操作使用更簡(jiǎn)單；
7、 產(chǎn)品安全多重設(shè)計(jì)，確保不會(huì)造成產(chǎn)品變形損壞；
8 、四條通道每個(gè)地方獨(dú)立檢測(cè)，準(zhǔn)確判斷問題所在；
9 、設(shè)備安全多重設(shè)計(jì)，確保人身安全；
10、 模塊化設(shè)計(jì)，國際品牌配置，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
