產品參數：
| 型號 |
TS-PL10 |
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真空腔尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
| 材質 | 316不銹鋼 |
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電極 |
平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金 |
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電極尺寸 |
180mm *230mm(最大可處理產品尺寸) |
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頻率 |
40KHz |
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功率 |
0-1000W連續可調，可在設備運行中隨時調整參數。 |
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氣體控制 |
精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體 |
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真空度測量儀器 |
2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC) |
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控制方式 |
7寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式 |
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控制軟件功能 |
界面顯示實時工作狀態 |
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設備規格尺寸 |
長550mm*寬550mm*高600mm |
產品特點：
1、該儀器實現了手動、自動兩種模式任意切換的工作方式。
2、該儀器實現了程序化設計，預先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗。
3、只需氣體作為耗材，使用成本低。
4、無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。
主要應用領域：
1、半導體元件、印刷線路板的清洗。
2、高分子材料表面修飾。
3、生物芯片、微流控芯片的清洗。
4、芯片、電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片等的清洗。
5、各種形狀的人工晶體、ATR元件、天然晶體和寶石的清洗。
